Glossar

XPS – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie

XPS ist eine oberflächenanalytische Methode, bei der durch Röntgenstrahlung Elektronen aus den obersten Atomlagen gelöst und deren Energie gemessen wird. So lassen sich chemische Zusammensetzung und Bindungszustände in den obersten Nanometern einer Schicht sehr genau bestimmen.